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  学位论文 First principles study on overall reaction mechanism for tungsten atomic layer deposition in the early stages 钨原子层沉积早期整体反应机理的第一性原理研究
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原子层沉积
钨
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期刊：Seoul National University Open Repository (Seoul National University) 作者：박환열 出版日期：2019-01-01 |
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