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 Enhanced AlScN/GaN Heterostructures Grown with a Novel Precursor by Metal–Organic Chemical Vapor Deposition 金属有机化学气相沉积增强AlScN/GaN异质结构
相关领域
化学气相沉积
金属有机气相外延
异质结
高电子迁移率晶体管
材料科学
钪
电子迁移率
光电子学
外延
晶体管
纳米技术
冶金
电气工程
工程类
电压
图层（电子）
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期刊：physica status solidi (RRL) - Rapid Research Letters 作者：Isabel Streicher; Stefano Leone; Lutz Kirste; C. Manz; Patrik Straňák; et al 出版日期：2022-10-26 |
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