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The Importance of Decarbonylation Mechanisms in the Atomic Layer Deposition of High‐Quality Ru Films by Zero‐Oxidation State Ru(DMBD)(CO) 3 相关领域
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期刊:Small 作者:Joel R. Schneider; Camila de Paula; Jacqueline Lewis; Jacob Woodruff; James A. Raiford; et al 出版日期:2022-01-05 |
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