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 High-Aspect-Ratio Thin-Film Stiffening Structures Made of Atomic-Layer-Deposited Alumina and Its Application to a Scanning Micromirror 相关领域
变硬
深反应离子刻蚀
微电子机械系统
材料科学
蚀刻（微加工）
图层（电子）
硅
光学
工程制图
纳米技术
光电子学
复合材料
反应离子刻蚀
物理
工程类
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期刊：Journal of Microelectromechanical Systems 作者：Nguyễn Thanh Tùng; S. Saito; T. Sasaki; Daniel Greif; Maxwell F. Parsons; et al 出版日期：2023-05-26 |
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Criminology34
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