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Electron Beam Lithography Fabrication of Superconducting Tunnel Structures
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DOI
10.1134/s1063783421090067 doi
其它 期刊:Physics of the Solid State
作者:M. Yu. Fominskii; L. V. Filippenko; A. M. Chekushkin; V. P. Koshelets
出版日期:2021-09-01
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