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标题
Design of a high-numerical-aperture extreme ultraviolet lithography illumination system
网址
https://www.osapublishing.org/viewmedia.cfm?URI=ao-57-20-567...
DOI
10.1364/ao.57.005673 doi
其它 期刊：Applied Optics
作者：Jia-Hua Jiang; Yanqiu Li; Shi-Huan Shen; S. Mao
出版日期：2018-07-03
求助人
ghpi 在 2026-10-16 16:36:00 发布自四川，悬赏 10 积分
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    ghpi ghpi Lv41 求助人 发起了本次求助

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