Resonant 1D MEMS mirror with a total optical scan angle of 180° for automotive LiDAR

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标题	Resonant 1D MEMS mirror with a total optical scan angle of 180° for automotive LiDAR
网址	https://doi.org/10.1117/12.2546035
DOI	10.1117/12.2546035 doi
其它	期刊：MOEMS and Miniaturized Systems XIX 作者：Fabian Schwarz; Frank Senger; Jörg Albers; Pauline Malaurie; Christian Janicke; et al 出版日期：2020-02-29
求助人	oliver 在 2026-10-26 18:20:03 发布自重庆，悬赏 20 积分
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