Process–Structure Correlation of AlN Films Sputtered in Confocal Target Geometry for Bulk Acoustic Wave Resonators

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标题	专利、报告等 Process–Structure Correlation of AlN Films Sputtered in Confocal Target Geometry for Bulk Acoustic Wave Resonators
网址	https://doi.org/10.2139/ssrn.6409713
DOI	10.2139/ssrn.6409713 doi
其它	期刊：作者：Anshul Jain; Subhranshu Shekhar Sahu; Vinay Kulkarni; Pradeep Dixit; Apurba Laha 出版日期：2026-03-14
求助人	背后的映寒在 2026-10-26 18:12:38 发布自湖北，悬赏 10 积分
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