| 标题 |
[高分]
 专利、报告等 Test Method for Determination of Surface Roughness by Scanning Tunneling Microscopy for Gas Distribution System Components |
| 备注 |
要求SEMI F37-0318（当前有效版本，2018年发布）
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| 网址 | |
| DOI |
10.1520/f1438
doi
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| 其它 |
作者: SEMI 出版物名: SEMI Standards |
| 求助人 | |
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(2025-6-4)
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