MBMW-100 flex, the 1st electron multi-beam mask writer for mature and advanced mask nodes

已关闭

文献求助详情

标题	MBMW-100 flex, the 1st electron multi-beam mask writer for mature and advanced mask nodes
网址	http://dx.doi.org/10.1117/12.2688257
DOI	10.1117/12.2688257 doi
其它	期刊：Photomask Technology 2023 作者：Mathias Tomandl; Christof Klein; Hans Loeschner; Elmar Platzgummer 出版日期：2023-11-22
求助人	CarryLJR 在 2026-11-01 15:39:53 发布自北京，悬赏 20 积分
下载

上个求助

下个求助

提交工单

求助 / 应助时间线

1天前，求助关闭

CarryLJR Lv5 求助人关闭了本次求助。

说明找不到【积分已退回】
1天前

科研通AI2.0 机器人未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

15:39:56 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

15:39:54 科研通AI机器人（澳大利亚悉尼）收到请求，开始寻找文献

15:39:53 已向机器人发送请求
1天前

CarryLJR Lv5 求助人发起了本次求助

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: lan完成签到，获得积分10

1秒前; 坚强梦菲完成签到，获得积分10

2秒前; DrSong完成签到，获得积分10

3秒前; 煊陌完成签到，获得积分10

6秒前; 充电宝上传了应助文件

6秒前; SciGPT的应助被积极彩虹采纳，获得10

7秒前; auqkhter上传了应助文件

7秒前; 所所上传了应助文件

8秒前; 故事的角色完成签到，获得积分10

8秒前; 木木完成签到，获得积分10

8秒前; 科研通AI6.4上传了应助文件

9秒前; lihui发布了新的文献求助10

10秒前; 涛涛完成签到，获得积分10

11秒前; lxz发布了新的文献求助10

13秒前; 我是老大的应助被科研通管家采纳，获得10

14秒前; 6666的应助被科研通管家采纳，获得20

14秒前; 拼搏向上完成签到，获得积分10

14秒前; Xieyusen发布了新的文献求助10

14秒前; yanaiqi的应助被科研通管家采纳，获得20

14秒前; 完美的妙芹完成签到，获得积分0

14秒前; 果果123发布了新的文献求助10

15秒前; 情怀的应助被FZH采纳，获得10

15秒前; Hello的应助被You采纳，获得10

16秒前; chenhui完成签到，获得积分10

18秒前; 专注的怜珊完成签到，获得积分10

18秒前; 嘻嘻哈哈上传了应助文件

19秒前; lxz完成签到，获得积分10

19秒前; 健忘雁荷完成签到，获得积分10

20秒前; friendlyfwf完成签到，获得积分20

21秒前; 丁凡发布了新的文献求助10

21秒前; FZH完成签到，获得积分10

22秒前; wanli445完成签到，获得积分10

22秒前; 大模型上传了应助文件

23秒前; 侯雨涵完成签到，获得积分20

24秒前; 李二牛完成签到，获得积分10

24秒前; mps完成签到，获得积分10

25秒前; jiaojiao完成签到，获得积分10

26秒前; 英俊的铭的应助被积极彩虹采纳，获得10

27秒前; 所所的应助被侯雨涵采纳，获得10

28秒前; mamgor发布了新的文献求助10

31秒前