Deposition of Hydrogen-Free Silicon Nitride Thin Films by Microwave ECR plasma Enhanced Magnetron Sputtering at Room Temperature

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标题	Deposition of Hydrogen-Free Silicon Nitride Thin Films by Microwave ECR plasma Enhanced Magnetron Sputtering at Room Temperature
网址	https://doi.org/10.1088/0256-307x/22/9/053
DOI	10.1088/0256-307x/22/9/053 doi
其它	期刊：Chinese Physics Letters 作者：Ding Wan-Yu; Xu Jun; Piao Yong; Li Yan-Qin; Gao Peng; et al 出版日期：2005-08-26
求助人	十一在 2026-04-13 23:49:25 发布自贵州，悬赏 10 积分
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