TiO 2 protective capping for EUV mirrors: superior hydrogen plasma resistance and Sn contaminants removal

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标题	TiO 2 protective capping for EUV mirrors: superior hydrogen plasma resistance and Sn contaminants removal
网址	http://pubs.rsc.org/en/content/articlepdf/2026/NR/D5NR04590H
DOI	10.1039/d5nr04590h doi
其它	期刊：Nanoscale 作者：Sishu Wang; Zongbiao Ye; Andong Wu; Tao Gao; Jianjun Wei; Fujun Gou 出版日期：2026-03-05
求助人	大力灵寒在 2026-04-30 18:24:29 发布自中国，悬赏 10 积分
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