Phase transformation of thin sputter-deposited tungsten films at room temperature

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标题	Phase transformation of thin sputter-deposited tungsten films at room temperature
网址	https://pubs.aip.org/avs/jvb/article-pdf/20/5/2047/11134787/...
DOI	10.1116/1.1506905 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures Processing, Measurement, and Phenomena 作者：S. M. Rossnagel; I. C. Noyan; C. Cabral 出版日期：2002-10-10
求助人	okiya 在 2026-05-02 18:01:14 发布自天津，悬赏 10 积分
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