发布文献求助
已完结
  • 文献求助详情
标题
Development defect model for immersion photolithography
相关领域
薄脆饼 光刻胶 光刻 材料科学 残余物 半导体器件制造 浸没式光刻 平版印刷术 抵抗 工艺优化 旋转（数学） 泄漏（经济） 沉浸式（数学） 纳米技术 复合材料 计算机科学 光电子学 工程类 数学 化学工程 算法 图层（电子） 纯数学 经济 人工智能 宏观经济学
网址
http://dx.doi.org/10.1117/1.JMM.17.2.023502
DOI
10.1117/1.JMM.17.2.023502 doi
求助人
scscsd 在 2026-04-01 10:20:36 发布自广东，悬赏 30 积分
下载 该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
提交工单
该求助已完结，感谢关注
如需该文献，请重新发布求助，前往发布
老实憨厚无套路，服务科研追梦人
请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
1秒前
王亚宁发布了新的文献求助10
1秒前
1秒前
xiaozaix发布了新的文献求助10
1秒前
Ethan发布了新的文献求助10
2秒前
宇儿发布了新的文献求助10
2秒前
Leo完成签到，获得积分10
3秒前
XxxxxtPuCO发布了新的文献求助10
3秒前
3秒前
3秒前
3秒前
思源的应助被vishey采纳，获得10
5秒前
5秒前
6秒前
李健的小迷弟的应助被chenhouhan采纳，获得10
6秒前
哈哈哈发布了新的文献求助10
6秒前
7秒前
7秒前
LaTeXer的应助被辛勤枫叶采纳，获得60
7秒前
肖莉萌完成签到，获得积分20
8秒前
9秒前
文静发布了新的文献求助10
9秒前
杨乐完成签到，获得积分10
10秒前
韵诗发布了新的文献求助30
10秒前
11秒前
孤独幻枫发布了新的文献求助10
12秒前
12秒前
SciGPT的应助被㎏w采纳，获得10
12秒前
今天完成签到，获得积分10
13秒前
酷波er的应助被多读点文献采纳，获得10
13秒前
13秒前
认真的焦发布了新的文献求助10
13秒前
坚强的灵雁完成签到 ，获得积分10
14秒前
11发布了新的文献求助10
14秒前
14秒前
刘凯发布了新的文献求助10
15秒前
13201099463发布了新的文献求助30
15秒前
11发布了新的文献求助10
16秒前
彩w的应助被Mia采纳，获得10
16秒前
bkagyin的应助被YOGA1115采纳，获得10
18秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
The Organometallic Chemistry of the Transition Metals 800
Chemistry and Physics of Carbon Volume 18 800
The Organometallic Chemistry of the Transition Metals 800
The formation of Australian attitudes towards China, 1918-1941 640
Signals, Systems, and Signal Processing 610
全相对论原子结构与含时波包动力学的理论研究--清华大学 500
热门求助领域 （近24小时）
化学 材料科学 医学 生物 纳米技术 工程类 有机化学 化学工程 生物化学 计算机科学 物理 内科学 复合材料 催化作用 物理化学 光电子学 电极 细胞生物学 基因 无机化学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 6439776
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 8253678
关于积分的说明 17567573
捐赠科研通 5497874
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 2899438
邀请新用户注册赠送积分活动 1876241
关于科研通互助平台的介绍 1716650
Copyright © 2020-2026 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：821889395【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通