Fabrication of a Low-Loss SSC Using High-Dose Electron Beam Lithography Exposure With Negative PMMA Resist - 科研通

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标题	Fabrication of a Low-Loss SSC Using High-Dose Electron Beam Lithography Exposure With Negative PMMA Resist
网址	https://doi.org/10.1109/lpt.2010.2040998
DOI	10.1109/lpt.2010.2040998 doi
其它	期刊：IEEE Photonics Technology Letters 作者：Yan Liu; Xuejun Xu; Bo Xing; Yude Yu; Jinzhong Yu 出版日期：2010
求助人	柏不斜在 2026-05-31 23:17:41 发布自北京，悬赏 10 积分
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