Nanoparticle Photoresists: Ligand Exchange as a New, Sensitive EUV Patterning Mechanism - 科研通

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标题	Nanoparticle Photoresists: Ligand Exchange as a New, Sensitive EUV Patterning Mechanism
网址	https://doi.org/10.2494/photopolymer.26.659
DOI	10.2494/photopolymer.26.659 doi
其它	期刊：Journal of Photopolymer Science and Technology 作者：Marie Kryask; Markos Trikeriotis; Christine Ouyang; Sovik Chakrabarty; Emmanuel P. Giannelis; Christopher K. Ober 出版日期：2013
求助人	樊珩在 2026-05-31 22:15:48 发布自上海，悬赏 10 积分
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