Patterning with metal-oxide EUV photoresist: patterning capability, resist smoothing, trimming, and selective stripping

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标题	Patterning with metal-oxide EUV photoresist: patterning capability, resist smoothing, trimming, and selective stripping
网址	https://doi.org/10.1117/12.2258118
DOI	10.1117/12.2258118 doi
其它	期刊：Advances in Patterning Materials and Processes XXXIV 作者：Christoph K. Hohle; Roel Gronheid; Ming Mao; Frederic Lazzarino; Peter De Schepper; et al 出版日期：2017
求助人	樊珩在 2026-05-31 22:15:50 发布自上海，悬赏 20 积分
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