Evaluation of Thermal and Radiation Induced Chemistries of Metal Oxo–Hydroxo Clusters for Next-Generation Nanoscale Inorganic Resists

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标题	Evaluation of Thermal and Radiation Induced Chemistries of Metal Oxo–Hydroxo Clusters for Next-Generation Nanoscale Inorganic Resists
网址	https://doi.org/10.1021/acsanm.8b00865
DOI	10.1021/acsanm.8b00865 doi
其它	期刊：ACS Applied Nano Materials 作者：Richard P. Oleksak; Rose E. Ruther; Feixiang Luo; Jennie M. Amador; Shawn R. Decker; et al 出版日期：2018
求助人	樊珩在 2026-05-31 22:15:47 发布自上海，悬赏 10 积分
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