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标题
High resistivity AlOx thin films deposited by a novel two-step sputtering process
相关领域
材料科学 溅射 电阻率和电导率 薄膜 过程（计算） 冶金 光电子学 复合材料 工程物理 纳米技术 计算机科学 电气工程 操作系统 工程类
网址
https://doi.org/10.1016/0257-8972(92)90178-d
DOI
10.1016/0257-8972(92)90178-d doi
其它 期刊：Surface and Coatings Technology
作者：S Tokumaru
出版日期：1992-11-16
求助人
席慕容 在 2025-10-28 18:34:05 发布自山东，悬赏 10 积分
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