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Modelling of Reactive Sputtering Processes
作者
S. Berg,
Tomas Nyberg,
Tomáš Kubart
出处
期刊：Springer series in materials science
日期：2008-01-01
卷期号：: 131-152
被引量：11
标识
DOI：10.1007/978-3-540-76664-3_4
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