Sputtered silver and Cr-C films for applications as interconnect materials

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标题	Sputtered silver and Cr-C films for applications as interconnect materials 用作互连材料的溅射银和Cr-C薄膜相关领域材料科学互连溅射冶金纳米技术薄膜工程物理复合材料计算机科学计算机网络工程类
网址	https://doi.org/10.1016/0257-8972(92)90181-9
DOI	10.1016/0257-8972(92)90181-9 doi
其它	期刊：Surface and Coatings Technology 作者：N Maréchal 出版日期：1992-11-16
求助人	慕青在 2025-10-28 08:22:42 发布自内蒙古，悬赏 10 积分
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