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Characterization of single crystal diamond damaged layer induced by ion implantation and restored by varying annealing conditions 单晶金刚石离子注入损伤及不同退火条件修复的表征
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期刊:Micro and Nanostructures 作者:Jiao Fu; Qin Lü; Li Guo; Fengnan Li; Wang Fei; et al 出版日期:2022-11-05 |
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