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标题
Microscopic uniformity in plasma etching
等离子体刻蚀的微观均匀性
相关领域
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网址
DOI
10.1116/1.586180 doi
其它 期刊:Journal of vacuum science & technology
作者:Richard A. Gottscho
出版日期:1992-09-01
求助人
sefsfw 在 2025-07-27 00:27:14 发布自北京,悬赏 10 积分
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