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标题
Unintended Soft Breakdown Mechanism Limiting Ultrathin Ferroelectric HZO Films Scaling
限制超薄铁电HZO薄膜结垢的意外软击穿机制
相关领域
限制 铁电性 缩放比例 材料科学 机制（生物学） 意外后果 光电子学 纳米技术 物理 工程类 政治学 电介质 几何学 数学 机械工程 量子力学 法学
网址
https://doi.org/10.1021/acsaelm.5c00289
DOI
10.1021/acsaelm.5c00289 doi
其它 期刊：ACS applied electronic materials
作者：Wonwoo Kho; Hyunjoo Hwang; Hyo‐Bae Kim; Gunho Kim; Ji‐Hoon Ahn; et al
出版日期：2025-04-18
求助人
挽手说梦话 在 2025-09-24 09:48:04 发布自北京，悬赏 10 积分
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