Characterization of phosphorus deactivation in epitaxial Si:P and surpassing 1021 cm−3 carrier concentration

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标题	Characterization of phosphorus deactivation in epitaxial Si:P and surpassing 1021 cm−3 carrier concentration 外延Si：P中磷失活和超过1021cm-3载流子浓度的表征相关领域外延表征（材料科学）磷材料科学分析化学（期刊）矿物学结晶学化学纳米技术环境化学冶金图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1016/j.jcrysgro.2024.128046
DOI	10.1016/j.jcrysgro.2024.128046 doi
其它	期刊：Journal of Crystal Growth 作者：Daner Abdula; Yi‐Jen Chiu; Caleb K. Miskin; Alexandros T. Demos 出版日期：2024-12-01
求助人	AARON 在 2025-08-27 10:26:35 发布自广东，悬赏 10 积分
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