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标题
Advanced atmospheric pressure CVD of a-Si:H using pure and cyclooctane-diluted trisilane as precursor
以纯三硅烷和环辛烷稀释三硅烷为前驱体的a-Si：H高级常压CVD
相关领域
环辛烷 大气压力 材料科学 化学 有机化学 气象学 物理 催化作用
网址
https://doi.org/10.1039/d4se01308e
DOI
10.1039/d4se01308e doi
其它 期刊：Sustainable Energy & Fuels
作者：Benedikt Fischer; Maurice Nuys; Oleksandr Astakhov; Stefan Haas; Michael Schaaf; et al
出版日期：2024-01-01
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共享精神 在 2025-08-24 01:38:52 发布，悬赏 10 积分
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