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 Advanced atmospheric pressure CVD of a-Si:H using pure and cyclooctane-diluted trisilane as precursor 以纯三硅烷和环辛烷稀释三硅烷为前驱体的a-Si：H高级常压CVD
相关领域
环辛烷
大气压力
材料科学
化学
有机化学
气象学
物理
催化作用
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期刊：Sustainable Energy & Fuels 作者：Benedikt Fischer; Maurice Nuys; Oleksandr Astakhov; Stefan Haas; Michael Schaaf; et al 出版日期：2024-01-01 |
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