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 Removing defects from sputter damage on InGaP surfaces using thermal atomic layer etching 利用热原子层刻蚀去除InGaP表面溅射损伤的缺陷
相关领域
蚀刻（微加工）
材料科学
溅射
图层（电子）
热的
复合材料
光电子学
纳米技术
薄膜
物理
气象学
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| 其它 |
期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Ross Edel; Ezra Alexander; Taewook Nam; Andrew S. Cavanagh; Troy Van Voorhis; et al 出版日期：2024-10-04 |
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