| 标题 |
 Anisotropic Ta2O5 photonic crystal waveguide etching using inductively coupled plasma etching 电感耦合等离子体刻蚀各向异性Ta2O5光子晶体波导
相关领域
蚀刻（微加工）
感应耦合等离子体
材料科学
光子晶体
各向异性
反应离子刻蚀
等离子体刻蚀
光电子学
等离子体
干法蚀刻
光学
复合材料
物理
量子力学
图层（电子）
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者：Wenjie Wang; Libe Arzubiaga; Maryam Shayesteh; Stephen Fenner; Owain Clark; et al 出版日期：2025-02-13 |
| 求助人 | |
| 下载 | 求助已完成，仅限求助人下载。 |
|
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
|
PDF的下载单位、IP信息已删除
浮游
avalanche
无极微光
彭于彦祖
小杭76
yznfly
你嵙这个期刊没买
pcr163
pluto
GingerF
Criminology34
昏睡的蟠桃
小青椒
Frank
tuanheqi
Zx_1993
Smar_zcl
Maestro_S
菠菜
eric888
核桃
嘿嘿
quhayley
lalala
皖公网安备34019202002308
