Influence of plasma ionization on the elastic modulus and tribology behavior of carbon films deposited by the HiPIMS technique

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标题	Influence of plasma ionization on the elastic modulus and tribology behavior of carbon films deposited by the HiPIMS technique 相关领域材料科学高功率脉冲磁控溅射弹性模量溅射沉积复合材料拉曼光谱离子分析化学（期刊）碳纤维类金刚石碳溅射纳米技术薄膜光学化学物理复合数色谱法有机化学
网址	https://doi.org/10.1016/j.ceramint.2022.09.216
DOI	10.1016/j.ceramint.2022.09.216 doi
其它	期刊：Ceramics International 作者：César D. Rivera-Tello; Francisco Javier Flores‐Ruiz; M. Flores-Jiménez; M. Flores 出版日期：2022-09-24
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