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  Integrated LCOS-SLM-Based Laser Slicing System for Aberration Correction in Silicon Carbide Substrate Manufacturing 基于LCOS-SLM的集成激光切片系统在碳化硅衬底制造中的像差校正
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期刊：Micromachines 作者：Heng Wang; Qiang Cao; Yuting Hou; Lulu Yu; Tianhao Wu; et al 出版日期：2025-08-13 |
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