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标题
Impact of PFIB Gas Assisted Delayering on MOSFET Degradation
PFIB气体辅助分层对MOSFET退化的影响
相关领域
材料科学 抛光 聚焦离子束 MOSFET 互连 光电子学 电介质 晶体管 梁(结构) 降级(电信) 电子工程 离子 计算机科学 复合材料 电气工程 光学 化学 工程类 电压 计算机网络 物理 有机化学
网址
DOI
10.31399/asm.cp.istfa2022p0284 doi
其它 期刊:Proceedings
作者:Zvika Sapir; Oksana Dimnich; Avraham Raz
出版日期:2022-10-26
求助人
楼下太吵了 在 2025-11-26 08:33:46 发布自中国,悬赏 10 积分
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