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标题
[高分] A 2-Axis Comb-driven Micromirror Array for 3D MEMS Optical Switch
网址
DOI
10.1541/ieejsmas.123.398 doi
其它 期刊:IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines
作者:Osamu Tsuboi; Yoshihiro Mizuno; Norinao Kouma; Hiromitu Soneda; Hisao Okuda; et al
出版日期:2003
求助人
大龙 在 2026-02-02 15:44:54 发布自广东,悬赏 150 积分
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