A 2-Axis Comb-driven Micromirror Array for 3D MEMS Optical Switch

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标题	[高分] A 2-Axis Comb-driven Micromirror Array for 3D MEMS Optical Switch
网址	https://doi.org/10.1541/ieejsmas.123.398
DOI	10.1541/ieejsmas.123.398 doi
其它	期刊：IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines 作者：Osamu Tsuboi; Yoshihiro Mizuno; Norinao Kouma; Hiromitu Soneda; Hisao Okuda; et al 出版日期：2003
求助人	大龙在 2026-02-02 15:44:54 发布自广东，悬赏 150 积分
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