Radial microstructural nonuniformity of boron nitride films deposited on a wafer scale substrate by unbalanced magnetron sputtering

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标题	Radial microstructural nonuniformity of boron nitride films deposited on a wafer scale substrate by unbalanced magnetron sputtering 相关领域材料科学溅射沉积基质（水族馆）氮化硼薄脆饼微观结构溅射偏压沉积（地质）薄膜氮化物分析化学（期刊）光电子学复合材料纳米技术电压图层（电子）化学电气工程色谱法生物海洋学地质学工程类沉积物古生物学
网址	https://doi.org/10.1016/j.tsf.2023.139753
DOI	10.1016/j.tsf.2023.139753 doi
其它	期刊：Thin Solid Films 作者：Young‐Hwan Choi; Joo‐Youl Huh; Young‐Joon Baik 出版日期：2023-02-21
求助人	凡90星在 2026-01-12 20:20:45 发布自浙江，悬赏 10 积分
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