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标题
Novel EUV Resist Materials Design for 14 nm Half Pitch and below
网址
https://doi.org/10.2494/photopolymer.27.645
DOI
10.2494/photopolymer.27.645 doi
其它 期刊：Journal of Photopolymer Science and Technology
作者：Shinji Tarutani; Hideaki Tsubaki; Toru Fujimori; Hiroo Takizawa; Takahiro Goto
出版日期：2014
求助人
樊珩 在 2026-05-31 22:47:07 发布自上海，悬赏 10 积分
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  • 1个月前，求助关闭

    科研通管家 科研通管家 机器人 关闭了本次求助。

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  • 1个月前

    樊珩 樊珩 Lv4 求助人 发起了本次求助

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