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 Deposition rate enhancement in HiPIMS through the control of magnetic field and pulse configuration 相关领域
高功率脉冲磁控溅射
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期刊：Surface and Coatings Technology 作者：Vasile Tiron; Ioana–Laura Velicu; Ilarion Mihăilă; G. Popa 出版日期：2018-02-03 |
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