Atomic layer deposition

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标题	Atomic layer deposition 原子层沉积相关领域制作原子层沉积限制小型化基质（水族馆）沉积（地质）半导体材料科学平面的纳米图层（电子）纳米技术化学工程光电子学计算机科学复合材料工程类地质学计算机图形学（图像）病理古生物学海洋学生物机械工程替代医学医学沉积物
网址	http://dx.doi.org/10.1038/s43586-025-00435-6
DOI	10.1038/s43586-025-00435-6 doi 提醒：求助人提供的doi与AI识别不一致 10.1016/b978-0-12-812311-9.00011-6 Doi
其它	Kessels, E., Devi, A., Park, J.-S. et al. Atomic layer deposition. Nat Rev Methods Primers5, 66 (2025). https://doi.org/10.1038/s43586-025-00435-6
求助人	TWENTY 在 2025-11-14 05:58:37 发布自荷兰，悬赏 10 积分
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