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![]() 离子注入和退火后绝缘体上硅层的复杂诊断
相关领域
退火(玻璃)
离子注入
硅
材料科学
绝缘体上的硅
离子
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期刊:Journal of Surface Investigation X-ray Synchrotron and Neutron Techniques 作者:P. A. Yunin; М. Н. Дроздов; А. В. Новиков; V. B. Shmagin; Е. В. Демидов; et al 出版日期:2024-06-01 |
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chaohuix
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