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  Top-down integration of suspended N+/P/N+ silicon-nanowire-based ion-sensitive field effect transistors for pH analysis at the submicronic scale 用于亚微米尺度pH分析的悬浮N+/P/N+硅纳米线离子敏感场效应晶体管的自上而下集成
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期刊：Thin Solid Films 作者：Ahmet Lale; A. Grappin; Aurélie Lecestre; Laurent Mazenq; Jérôme Launay; et al 出版日期：2022-11-24 |
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