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 Period measurement of a periodic structure by using a heterodyne grating interferometer 利用外差光栅干涉仪测量周期结构的周期
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期刊：Applied Optics 作者：Cheng-Chih Hsu; Chen-Ming Tsai; Chen-Yu Ye; Pei-Ling Chen; Tzu-Ti Lee; et al 出版日期：2024-05-02 |
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