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 A method to slow down the etching of hydrogen plasma pretreatment and improve passivation in silicon heterojunction solar cells 一种减缓硅异质结太阳能电池氢等离子体预处理蚀刻和改善钝化的方法
相关领域
钝化
蚀刻（微加工）
异质结
等离子体
材料科学
硅
氢
光电子学
太阳能电池
等离子体刻蚀
纳米技术
化学
物理
图层（电子）
量子力学
有机化学
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| 其它 |
期刊：Solar Energy Materials and Solar Cells 作者：Jianming Li; Ziyuan Liu; Ke Tao; Wei Li; Baojie Yan; et al 出版日期：2024-09-11 |
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