A method to slow down the etching of hydrogen plasma pretreatment and improve passivation in silicon heterojunction solar cells

钝化 蚀刻(微加工) 异质结 等离子体 材料科学 光电子学 太阳能电池 等离子体刻蚀 纳米技术 化学 物理 图层(电子) 量子力学 有机化学
作者
Jianming Li,Ziyuan Liu,Ke Tao,Wei Li,Baojie Yan,Baohai Yang,Jinlian Bi,Yupeng Xing,Yujie Yuan
出处
期刊:Solar Energy Materials and Solar Cells [Elsevier BV]
卷期号:278: 113158-113158 被引量:3
标识
DOI:10.1016/j.solmat.2024.113158
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