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![]() 用D-SIMS和DLTS缺陷分布测量离子沟道对4H-SiC 350 keV质子注入的影响
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期刊:Materials Science in Semiconductor Processing 作者:Orazio Samperi; Alexander Azarov; Viktor Bobal; Mario Pietro Bertolini; Massimiliano Cantiano; et al 出版日期:2025-01-23 |
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