Study on mechanism and characteristics of laser repair of surface damage after ultra-precision grinding of monocrystalline silicon

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标题	Study on mechanism and characteristics of laser repair of surface damage after ultra-precision grinding of monocrystalline silicon
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.optlastec.2025.112660
DOI	10.1016/j.optlastec.2025.112660 doi
其它	期刊：Optics & Laser Technology 作者：Guoyan Sun; Cui Deng; Wei Hao; Jianke Zhao; Mingxu Fan; et al 出版日期：2025-08-01
求助人	swsx1317 在 2026-09-14 18:14:10 发布自浙江，悬赏 10 积分
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