Oxidation‐based wet‐etching method for AlGaN/GaN structure with different oxidation times and temperatures

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标题	Oxidation‐based wet‐etching method for AlGaN/GaN structure with different oxidation times and temperatures
网址	http://dx.doi.org/10.1007/s12598-013-0148-4
DOI	10.1007/s12598-013-0148-4 doi
其它	期刊：Rare Metals 作者：Yang Liu; Jin‐Yan Wang; Zhe Xu; Jin‐Bao Cai; Mao‐Jun Wang; et al 出版日期：2013-10-24
求助人	木子在 2026-08-24 16:05:06 发布自陕西，悬赏 10 积分
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