ALD-Based Synthesis of Wafer-Scale Transition Metal Dichalcogenides Towards Nanoelectronics and Optoelectronics Applications

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标题	ALD-Based Synthesis of Wafer-Scale Transition Metal Dichalcogenides Towards Nanoelectronics and Optoelectronics Applications
网址	https://iopscience.iop.org/article/10.1149/MA2020-02291964mt...
DOI	10.1149/ma2020-02291964mtgabs doi
其它	期刊：作者：Hao Zhu; Hao Liu; Yang Wang; Zheng-Hao Gu; Kai Zhang; et al 出版日期：2020-11-23
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