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标题
Stress in electroplated gold on silicon substrates and its dependence on cathode agitation
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DOI
10.1016/j.mee.2013.05.019 doi
其它 期刊:Microelectronic Engineering
作者:Suan Hui Pu; Andrew S. Holmes; Eric M. Yeatman
出版日期:2013-06-06
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刻苦碧彤 在 2026-08-27 22:06:34 发布自浙江,悬赏 10 积分
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