| 标题 |
 Defect inspection methodology for contact holes 相关领域
材料科学
光学
计量学
极紫外光刻
薄脆饼
电子束光刻
吞吐量
平版印刷术
阴极射线
光圈（计算机存储器）
相（物质）
梁（结构）
传输（电信）
光电子学
抵抗
计算机科学
电子
纳米技术
物理
声学
电信
量子力学
无线
图层（电子）
|
| 网址 | |
| DOI |
10.1117/12.3015844
doi
|
| 其它 |
期刊：Metrology, Inspection, and Process Control XXXVIII 作者：Dieter Van den Heuvel; Christophe Beral; Bhavishya Chowrira; Philippe Foubert; Danilo De Simone; et al 出版日期：2024-04-10 |
| 求助人 | |
| 下载 | 求助已完成，仅限求助人下载。 |
|
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
|
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
Kao
大力的冬萱
cdercder
潇洒的惋清
Avalonx
sagitar
arniu2008
科研啦
ale
liuzhuohao
lx
卡乐瑞咩吹可
OK
愉快的真
行走的荷尔蒙
Oracle
科研狗
Criminology34
挖掘机
HHHHTTTT
皖公网安备34019202002308
