Kinetic simulation of a 50 mTorr capacitively coupled argon discharge over a range of frequencies and comparison to experiments

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标题	Kinetic simulation of a 50 mTorr capacitively coupled argon discharge over a range of frequencies and comparison to experiments
网址	http://dx.doi.org/10.1063/5.0157347
DOI	10.1063/5.0157347 doi
其它	期刊：Physics of Plasmas 作者：Saurabh Simha; Sarveshwar Sharma; Alexander Khrabrov; Igor Kaganovich; Jonathan Poggie; et al 出版日期：2023-08-01
求助人	UNIQ85 在 2026-07-13 16:20:55 发布自甘肃，悬赏 10 积分
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