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标题
Today’s scorecard for tomorrow’s photoresist: progress and outlook towards High-NA EUV lithography
网址
http://dx.doi.org/10.1117/12.2586645
DOI
10.1117/12.2586645 doi
其它 期刊：Advances in Patterning Materials and Processes XXXVIII
作者：Jara G. SantaClara; Gijsbert Rispens; Joost Bekaert; Arame Thiam; Mark Maslow; et al
出版日期：2021-02-26
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tester_gater 在 2026-08-04 15:27:49 发布自上海，悬赏 20 积分
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  • 17天前，求助关闭

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  • 22天前

    tester_gater tester_gater Lv5 求助人 发起了本次求助

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