Fabrication of Ta/TaN diffusion-barrier thin films using DC magnetron sputtering

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标题	Fabrication of Ta/TaN diffusion-barrier thin films using DC magnetron sputtering
网址	https://doi.org/10.1016/j.tsf.2025.140818
DOI	10.1016/j.tsf.2025.140818 doi
其它	期刊：Thin Solid Films 作者：Byeong Hwa Jeong; Dong Woo Kim; So Hyun Lee; Chae Hyun Kang; Wen Long; et al 出版日期：2025-10-31
求助人	YHH 在 2026-10-14 15:44:13 发布自广东，悬赏 10 积分
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